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Anton Paar表面机械特性测试仪-微米划痕测试仪

日期:2019-04-24 17:17 

            纳米划痕测试仪专门用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂层的结合力。纳米划痕测试仪可用于分析有机的和
            无机的以及软的和硬的薄膜。如:薄的和多层的 PVD、CVD、PECVD、光刻胶、油漆、涂料和其他各种薄膜。NST³
            涵盖光学、微电子、防护、装饰等 应用领域。基体可以是硬的或软的,包括合金、半导体、玻璃、可折射的和
            有机材料。

                     施加的载荷分辨率:0.01 μN                                                                                             

                     最大载荷:1000 mN

                     摩擦力分辨率:0.3 μN

                     最大摩擦力:1000 mN

                     压入位移:分辨率 0.3 nm

                     最大压入位移:600 μm

                     速度从 0.4 mm/min 到 600 mm/mi